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洁净室的气流速度/通风频率一直是洁净室设计中关注的问题。随着洁净室污染源控制效果的提高和最终过滤器效率的提高，有关规范和指南的推荐值或参考值是否保守的问题已经引起了广泛的讨论。实践中解决了有关噪声、损坏和维修问题。随着FFU技术的不断完善，是否采用FFU回风系统也是一个热点：悬浮分子污染（AMC）的控制越来越受到微电子和集成电路行业的重视。下面是对这些问题的总结和分析。
无尘洁净室在一定洁净度下的气流速度的测定随洁净室的使用而变化。它不仅受室内粉尘量和过滤器效率的影响，还受其他因素的影响。就工业洁净室而言，影响洁净度和选择气流速度的主要因素有：
（1）室内污染源：建筑构件、人数及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺本身均为粉尘释放源，根据具体情况变化较大；
（2）室内气流流型及分布：单向流要求流线均匀、均匀，但由于工艺设备布置、位置变化和人员活动的干扰，会形成局部涡流；非单向流要求混合，以避免死角和温度分层。
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